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  • M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统
  • 发布时间:2008/10/15 发布人:5icte专家
行业分类:
电子通信 (16247)
买卖方向:
供应
技术名称:
M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统
技术简介: 本项目为M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统的研制,任务属于横向任务,是根据用户信息产业部电子第十八研究所的要求而研制的,系统采用了先进的外燃式氢氧合成工艺手段。氢氧合成利用了氢气气体在585℃着火的特点。系统在反应管的尾部,设置了一个专门的氢氧合成腔和点火炉。氢气和氧气分别以一定的流量比导入后,由点火炉的热使氢气达到着火温度燃烧。这样,产生的过热水汽,在氢气的不断燃烧时,通过氢氧合成腔充分饱和后,均匀地送入反应管内,却不会形成沿反应管轴线高速运行的水汽流,对恒温区影响甚微。只要氢气足够,合成腔内就源源不断地提供饱和的过热水汽,生长出均匀性优良的氧化膜。 M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统在信息产业部电子第十八研究所使用情况很好,能替代进口设备使用,工艺优良,产品已批量生产。
关键词:
扩散 氧化 系统  
技术阶段:
工业化
转让情况:
未转让
合作方式:
技术服务  
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